יישום קירור נוזלי במיקרוסקופ אלקטרונים
מיקרוסקופ האלקטרונים מורכב מחבית עדשה, התקן ואקום וארון כוח. חבית העדשה כוללת בעיקר מקור אלקטרוני, עדשה אלקטרונית, מתלה מדגם, מסך פלואורסצנטי, גלאי ורכיבים אחרים, אשר בדרך כלל מורכבים לעמודה מלמעלה למטה. התקן הוואקום משמש להבטחת מצב הוואקום במיקרוסקופ כך שאלקטרונים לא ייספגו או מוטים בדרכו. הוא מורכב ממשאבת ואקום מכנית, משאבת דיפוזיה ושסתום ואקום, ומחובר לחבית העדשה דרך צינור מיצוי אוויר. ארון החשמל מורכב מגנרטור מתח גבוה, וסת זרם עירור ויחידות רגולציה ובקרה שונות.
כאשר מיקרוסקופ האלקטרונים עובד, הוא ייצור חום גדול יחסית, ומקור החום הוא ארון החשמל. משתמשים מסוימים לעתים קרובות להגיב כי הטמפרטורה גבוהה בקיץ, אשר משפיע ברצינות על יעילות העבודה ודיוק.
המרחק בין רכיבים ללוחות מעגלים של ציוד מיקרוסקופ אלקטרונים קרוב, ומרחב פיזור החום קטן. לכן, תשומת לב מיוחדת יש לשלם את הטמפרטורה בתוך הבית כדי לשמור על זה בתוך 25 ± 2 °C (50 °F). עבור חלקים מסוימים של פיזור חום, מכיוון שהם מכילים רכיבי כוח ומאמצים מצב פיזור חום טבעי, שימו לב לשמור על המרחב לידם ללא הפרעה. יחד עם זאת, להימנע מהנחת חפצים על צלחת הכיסוי של פני השטח כדי לעכב את פיזור החום.
הלאהמצד שני, ניתן לשקול טכנולוגיות חדשות של פיזור חום. לדוגמה, פיזור חום קירור lquid ניתן להחיל על פיזור החום של מיקרוסקופ אלקטרונים. המאפיינים השקטים, היעילים והארוכים של קירור נוזלי פותחים מסלול חדש לטכנולוגיית פיזור חום. לכן, קירור נוזלי יהיה יותר ויותר בשימוש נרחב בציוד דיוק גבוה.
