יישום קירור נוזלי במיקרוסקופ אלקטרוני

מיקרוסקופ האלקטרונים מורכב מחבית עדשה, מכשיר ואקום וארון חשמל. חבית העדשה כוללת בעיקר מקור אלקטרוני, עדשה אלקטרונית, מתלה לדוגמאות, מסך פלורסנט, גלאי ורכיבים נוספים, המורכבים בדרך כלל לעמוד מלמעלה למטה. מכשיר הוואקום משמש כדי להבטיח את מצב הוואקום במיקרוסקופ, כך שהאלקטרונים לא ייספגו או יוטיו בדרכו. הוא מורכב ממשאבת ואקום מכנית, משאבת דיפוזיה ושסתום ואקום, והוא מחובר לחבית העדשה דרך צינור מיצוי אוויר. ארון החשמל מורכב מחולל מתח גבוה, ווסת זרם עירור ויחידות ויסות ובקרה שונות.

כאשר מיקרוסקופ האלקטרונים פועל, הוא יפיק חום גדול יחסית, ומקור החום הוא ארון החשמל. חלק מהמשתמשים מגיבים לעתים קרובות שהטמפרטורה גבוהה בקיץ, מה שמשפיע באופן רציני על יעילות העבודה והדיוק. המרחק בין רכיבים ומעגלים של ציוד מיקרוסקופ אלקטרוני הוא קרוב, ומרחב פיזור החום קטן. לכן, יש להקדיש תשומת לב מיוחדת לטמפרטורת הבית כדי לשמור אותה בטווח של 25 ± 2 מעלות. עבור חלקי פיזור חום מסוימים, מכיוון שהם מכילים רכיבי חשמל ומאמצים את מצב פיזור החום הטבעי, שימו לב לשמור על המרחב לידם ללא הפרעה. יחד עם זאת, הימנע מהנחת חפצים על לוחית הכיסוי של המשטח כדי למנוע פיזור חום.

מצד שני, ניתן לשקול טכנולוגיות פיזור חום חדשות. לדוגמה, ניתן ליישם פיזור חום בקירור נוזלים על פיזור החום של מיקרוסקופ אלקטרונים. המאפיינים השקטים, היעילים וארוכי החיים של קירור נוזלי פותחים מסלול חדש לטכנולוגיית פיזור חום. לכן, קירור נוזלי יהיה בשימוש נרחב יותר ויותר בציוד בעל דיוק גבוה.